可以让操作者远离有害溶剂;等离子体可以深入毛孔和萧条的对象完成清洗,所以没有需要考虑物体的形状清洗;也可以处理所有类型的材料,特别适用于高温和耐溶剂材料。这些优点使等离子清洗受到广泛关注。在物理和化学反应并存的清洗反应中，高温粉附着力物理和化学反应都起着重要的作用。在在线等离子体清洗过程中，如果使用Ar和O2的混合物，其反应速度比单独使用Ar或O2更快。
被外加电场加速的部分电离气体中的电子与中性分子碰撞，高温粉附着力不足把从电场得到的能量传给气体。电子与中性分子的弹性碰撞导致分子动能增加，表现为温度升高；而非弹性碰撞则导致激发（分子或原子中的电子由低能级跃迁到高能级）、离解（分子分解为原子）或电离（分子或原子的外层电子由束缚态变为自由电子）。高温气体通过传导、对流和辐射把能量传给周围环境，在定常条件下，给定容积中的输入能量和损失能量相等。
等离子清洗机的工作状态相当于在真空环境中压缩，高温粉附着力随着压力的增大，分子之间的间隙也增大它在缩小，越来越接近于零。然后利用工作射频源发出的交流高压振荡交流逆变器电场，将氧、铝、氢等生产工艺气体通过高温挤压等一定的暴力行为转化为另一种化学活动状态。只有在这种状态下，污染物与污染物之间才会形成一定的吸力。通过污染物之间的相互摩擦和吸引，污染物可以转化为具有高挥发性的物质。
PFM的主要作用是有效控制进入等离子体的杂质，高温粉附着力会差吗有效去除辐射到材料表面的热功率，以及其他元件在异常停机时受到等离子体冲击造成的损坏，起到保护作用。同时，面向等离子的材料必须与反应堆的使用寿命、可靠性和维护性相一致。因此...
