1)等离子清洗机颗粒物 颗粒物主要是某些高聚物、导电银胶和蚀刻加工残渣等。这类污染物质一般首要依赖范德瓦尔斯独特的吸引粘附在晶圆表层,影响到电子元器件刻蚀工艺程序的几何立体图形的构成及电力学主要参数。这类污染物质的清除方式首要以物理上的或有机化学的方式对颗粒物来进行底切,逐步减少其与晶圆表层的触碰范围,最后将其清除。
等离子体表面处理机韧皮纤维表层改性: 在对化学纤维-高聚物等离子体处理过程中，高聚物表面改性的目的 等离子体表面处理机使等离子体产生的高能粒子和光子与板材表层出现激烈的相互影响，这种作用通常表现为自由基化学反应。其主要表现为表层清洁作用、表层腐蚀作用、表层分子交联、表层化学结构变化四种类型。每一种效果都有一定程度的影响，但是根据处理对象、气体的化学性质、仪器类型和仪器参数的设置，某些影响可能会比其它更加明显。
提高材料表面润湿性的等离子体表面处理器处理系统解决方案；等离子体表面处理机用于提高聚合物材料、橡胶、金属、玻璃、陶瓷等的润湿性。改变难粘材料的分子，高聚物表面改性使其具有更好的粘附性能而不损伤表面。等离子体技术非常适用于三维塑料制品、薄膜、橡胶型材、涂布纸板、泡沫、固体材料等更厚的材料片材。适用于医疗、汽车、包装、FPC、手机、高分子薄膜等工业领域。
电浆中微粒的能量通常在几到数十电子伏特，高聚物表面改性的方法比高聚物材质的结合键能更好地破坏有机高分子化合物的离子键，从而形成新的键；但远小于较高能放射性射线，只涉及材质表层，不影响基体的性能。在低温等离子中，处于非热力学平衡状态的电子具有很高的能量，能破坏材质表层分...
