超声波等离子体的反应是物理反应，表面改性 湿法工艺高频等离子体的反应是物理反应和化学反应，微波等离子体的反应是化学反应。由于超声波清洗对被清洗表面的影响最大，因此在现实世界的半导体制造应用中经常使用两种清洗方法，即射频和微波。使用超声波清洗时，去除表面的粘合剂和毛刺最有效。一种常见的物理化学清洗方法是在反应室中加入氩气作为辅助处理。由于氩气本身是惰性气体，它不会与表面发生反应，但会通过离子冲击清洁表面。
大约是 250 伏。它非常低。机制也不同。超声波高频等离子技术装置的反应是物理反应，表面改性 湿法工艺高频等离子技术装置的反应是物理化学反应，微波等离子技术的反应是化学反应。超声波等离子清洗对表面清洗有重大影响，因此高频等离子设备和微波等离子清洗主要用于现实世界的半导体制造应用。超声波等离子技术对等离子技术的表面进行物理清洗、脱胶、去毛刺等，具有很高的物理清洗（效果）效果。
用等离子体发生器处理金纳米粒子后，高能束先进制造与表面改性复合薄膜的表面积显着增加，使表面积的介电双层结构重叠，提高了薄膜的导电性，形成了薄膜。薄膜中重叠区域的电导率它促进了薄膜内部电荷的耗散，提高了薄膜的内部电场，从而延长了薄膜的耐电晕寿命。。一切都有二元性。在了解等离子清洗技术的优点的同时，还需要了解它们的缺点和使用问题。
它不再被认为是一种“巫毒”或需要表面预处理的昂贵选择。这种高效的工艺使制造变得更容易，高能束先进制造与表面改性并为未来的技术奠定了基础。。等离子体表面处理技术提高了大部分的外粘附聚合物材料:等离子体表面处理技术是指利用高能粒子在等离子体轰击材料的外层,外层材料可以被生物降解,提高表面粗糙度。如果等离子体中有其他活性粒子，如氧等离子体，它可以与外层物质发生反应，激活外层。等离子体处理技术可用于纤维、塑料、橡胶和复合材料的表面处理。
