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高频板基材油墨附着力不佳

2.电离气体的带电粒子之间存在库仑力,高频板基材油墨附着力不佳它控制着带电粒子群在磁场影响下的各种整体运动行为。产生等离子体的方法有很多。天体和高层大气之间有一种自然的方式。人工方法——一般有放电法、辐射法、真空紫外线、激光、燃烧、冲击波、电离场等。放电方法包括直流放电、低频放电、高频放电、微波和感应方法。它使用 13.56MHz 高频电源在设备内部产生辉光放电。在不同的反应室条件下实现不同的反应机理,可以获得不同的工艺效果。

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GaCl3 和 AsCl3 的挥发性很高,油墨附着力不佳但 AlCl3 的挥发性较低,会影响进一步的蚀刻。氟的用量会影响 InAIA 的蚀刻速率。增加含氟气体的流速会显着改变铟铝砷和砷化铟镓的选择性。使用 CHF3 和 BCl3 气体的组合,或 CF4 和 BCl3 的选择性,增加了一倍以上。压力和高频功率对两种气体组合蚀刻速率的影响:压力越高,蚀刻速率越低。

离开阴极后,高频板基材油墨附着力不佳电弧截面加大,磁压沿轴向降低,引起气体由阴极区向正柱区流动,形成阴极射流,其流速可达到 米/秒左右。在阳极斑点附近也存在着同样机理的阳极射流。 等离子发生器交流放电 等离子发生器通常指工频和高频放电。工频放电时,阴、阳极以工频交替变化,其放电特性与直流放电有类似之处。高频放电时,电子仍是从电场取得能量的主要粒子。

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