采用金徕等离子体技对ITO阳极进行表面改性，可有效优化其表面化学组成，大大降低方块电阻，从而有效提高能量转换效率，改善器件的光伏性能。
太阳能聚能镜在生产过程中应用到等离子清洗工艺的有：
1、玻璃基板等离子体清洗：
使用金徕等离子体技术，对材料表面进行轰击，可有效去除表面有机污染物、氧化污染物、微信颗粒，使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度，为下道工序的进行奠定良好基础。
2、阳极表面等离子体改性：
采用金徕等离子体技对ITO阳极进行表面改性，可有效优化其表面化学组成，大大降低方块电阻，从而有效提高能量转换效率，改善器件的光伏性能。
3、涂保护膜前等离子体清洗处理：
硅片表面非常光亮，会反射掉大量的太阳光。因此，在其上沉积一层反射系数非常小的氮化硅保护膜是非常必要的。通过采用金徕等离子体技，可活化硅片表面，大大提高其表面附着力。
