反应等离子体是指等离子体中的活性粒子能与耐火材料表面发生反应,金属材料表面改性研究进展从而引入大量极性基团,这是材料表面由非极性向极性转变,表面张力得到改善,结合增强。此外,耐火材料的表面在等离子体中的冲击导致分子链断裂和交联,增加了表面分子的相对分子量,改善了弱边界层的条件,对改善表面键合性能也起到了积极的作用。经过低温等离子体处理后,材料的表面活性显著提高,促进了表面附着力的提高,具有更大的剥离强度。

材料表面改性研究

处于非热力学平衡状态下的低温等离子体中,金属材料表面改性研究进展电子具有较高的能量,可以断裂材料表面分子的化学键,提高粒子的化学反应活性(大于热等离子体),而中性粒子的温度接近室温,这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。

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利用氩气或氦气可以增大等离子体的密度提高清洗的效率,金属材料表面改性研究进展同时因为是稀有气体可以防止清洗之后的气体再次被氧化,其主要是利用氩气和氦气相对稳定的性质,同时其放电气压比较低,更容易形成等离子体而轰击金属表面使污染物脱落被真空泵排出;如果在氩气和氦气等离子体中掺入适量的氧气和氢气等,反应性气体分子可以与高能亚稳态原子碰撞发生电荷的转换和再结合,降低了电离和活化氧和氢的电压和能量,从而产生更多的活性粒子,但掺入氢气时要注意控制氢气质量比以防止爆炸。

金属材料表面改性研究进展

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众所周知,电晕放电只需要一个电极,那么单电极能形成等离子体射流吗?我们来对比一下三种不同电极构型形成的等离子体射流照片:图(a)为DBD构型形成的等离子体射流;图(b)是通过单个高压电极的电晕放电形成的等离子体射流,此时接地电极已经从石英管移除;图(c)选择直接与氦气流接触的金属片(0.05cm厚)作为电极,形成电晕放电。

一个是栅极氧化层是纵向击穿,图形化工艺步骤对其影响有限,但后段low-k一般是横向击穿,图形化工艺决定的CD、形貌、LWR等对其有决定性影响。其次,铜互连中引入的Cu化学机械研磨工艺会带来金属离子残留和水汽侵入,这些是栅极氧化层所没有的。还有蚀刻和金属阻挡层溅射沉积时等离子体对low-k的损伤,也是 low-k TDDB所独有。

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