这两种气体等离子体都是通过沿着石墨烯晶体表面的化学反应来蚀刻石墨烯的。不同的是，二氧化硅亲水性氧等离子体在攻击碳-碳键后会形成一氧化碳和二氧化碳等挥发性气体。氢等离子体会与甲烷和碳氢化合物结合。2010年，中国科学院物理研究所张光宇发表了一篇以氢气为主要气体蚀刻单层、双层石墨烯的文章。指出射频功率是关键参数，功率太大容易将石墨烯蚀刻成深沟槽并形成大量缺陷。较强的等离子蚀刻将导致更宽的沟壑和更深的孔。
首先是硅提纯，气相二氧化硅亲水性疏水性将沙石原料放入一个温度约为2000℃，并且有碳源存在的电弧熔炉中，在高温下，碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应(碳与氧结合，剩下硅)，得到纯度约为98%的纯硅，又称作冶金级硅，这对微电子器件来说不够纯，因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感，因此对冶金级硅进行进一步提纯：将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应，生成液态的硅烷，然后通过蒸馏和化学还原工艺，得到了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%，成为电子级硅。
原子团等自由基与物体表面的反应： 由于这些自由基呈电重型，气相二氧化硅亲水性疏水性存在寿命较长，而且在离子体中的数量多于离子，因此自由基在等离子体中发挥着重要作用，自由基的作用主要表现在化学反应过程中能量传递的"活化"作用，处于激发状态的自由基具有较高的能量，因此易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基，新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态，很可能发生分解反应，在变成较小分子同时生成新的自由基，这种反应过程还可能继续进行下去，最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。
其最大的优势在于能以极少的材料和能源消耗制备出基体材料难以甚至无法获得的性能优异的表面薄层，气相二氧化硅亲水性疏水性从而获得最大的经济效益，它是一种优质高效的表面改性与涂层技术。 优质、高效的表面改性与涂层技术其范围广阔：如热化学表面技术；物理气相沉积；化学气相沉积；物漓蜡学气相沉积技术；高能等离体表面涂层技术；金刚石薄膜涂层；多元多层复和涂层技术；表面改性及涂层性能猜测及剪裁技术；性能测试与寿命评估等等。
二氧化硅亲水性
等离子表面处理通常涉及以下反应过程： 1.首先，无机气体被激发成等离子体状态； 2.气相物质通过作用吸附在固体表面； 3.吸附剂与固体表面分子反应产生产物分子； 4、然后产物分子分解形成气相，实现反应残渣的分离表面效果。。手机外壳种类繁多，外观色彩更加鲜艳，色彩鲜艳，logo醒目，易脱漆，logo模糊，极大影响外观形象的手机。
利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。 等离子体处理的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。
第四步:点击触摸屏参数设置，设定清洗时间，按下启动按钮，30秒后发光将开始，调整电源旋钮和进气大小(空气)。第五步:待清洗时间结束，卸压完成，打开箱门，用镊子将清洗后的金属试样取出，放在白纸上。第六步:用移液枪将一滴蒸馏水缓慢滴在清洗过的重油污金属上，仔细观察液滴的形状和扩散情况。然后，与测试结果相比，清洗前的水滴水滴在金属表面呈圆形，形成水滴，接触角约为90度，清洗前的金属具有疏水性。
行业应用特点：a.工序简单，实际操作方便，生产加工速度快，加工效果非常好，环境污染问题小，环保节能等优点；b.在等离子体技术改性过程中，等离子体技术提高了塑料的润湿性；c.等离子表面处理器应用于塑料窗玻璃、汽车百叶窗、霓虹灯、卤素天灯镜的加工；D.涤纶织物坚固耐用，但结构紧凑，吸水性差，难以染色。低温氮等离子体对涤纶织物进行丙烯酰胺接枝改性，使接枝涤纶织物的上染率显著提高。染色深度E。
二氧化硅亲水性
烟盒、酒盒、电子玩具产品盒）。提高工作效率，二氧化硅亲水性减少粉碎污染，消除糊盒机纸尘污染，节省耗材，节省粘合剂成本（仅使用常规水性环保粘合剂）。数码行业使用等离子表面处理机等离子表面处理机加工后，手机、笔记本等数码产品的外壳喷涂，LOGO和装饰条上胶，显示屏上胶，胶水不开。已努力防止数码产品外壳上的油漆剥落和键盘上的文字褪色。同时，去除静电。等离子表面处理机在汽车制造行业的应用等离子表面处理机广泛应用于德国汽车工业。
这些活性粒子和它们接触的材料会发生物理和化学反应，气相二氧化硅亲水性疏水性从而改变材料外观的化学和物理特性。因此，近年来低温等离子体被广泛用于表面改性，以改变其附着力、吸水性、着色性等性能。与传统方法相比，等离子体处理具有明显优势：成本低、无浪费、无污染，有时还能得到传统物理、化学方法难以得到的处理效果。等离子体表面处理技术作为一种新型的表面处理技术，有其共同的优点。等离子体技术采用气相响应，全程无液体，响应迅速。
