此外，半导体等离子体清洗机器如果必须保持氧气的流动，真空度越高，氧气的相对比例就越高，产生的活性粒子浓度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的浓度反而会降低。四、氧气流量的调节：氧气流量大，活性粒子密度大，脱胶速度加快，但流量过大，离子复合概率增加，电子平均自由程增加。运动会更短，电离强度也会降低。
非弹性碰撞导致激发（分子或原子中的电子从低能级跃迁到高能级）。能级）、解离（分子分解成原子）或电离（分子或原子从外部电子的键合状态变为自由电子）。热气体通过传导、对流和辐射将能量传递到周围环境。在稳态下，半导体等离子体清洗机器特定体积的输入能量和损失能量相等。电子与重粒子（离子、分子、原子）之间的能量转移率与碰撞频率（每单位时间的碰撞次数）成正比。
& EMSP; & EMSP; 当环境温度较低时，半导体等离子体清洗机器等离子体可以通过辐射和热传导将能量传递到壁面。因此，为了在实验室中维持等离子体状态，发生器所提供的能量必须大于它所损失的能量。等离子体。 & EMSP; & EMSP; 许多人工等离子体产生方法（爆炸法、冲击波法等）产生的等离子体状态只能持续很短的时间（约10-5到10-1秒），具有工业应用。价值等离子状态保持很长时间（几分钟到几十小时）。
截至 2013 年，半导体等离子体清洗关于冷等离子体作用机制的研究被认为是粒子非弹性碰撞的结果。冷等离子体富含电子、离子、自由基和激发态分子，高能电子与气体分子（原子）碰撞，将能量转化为基态分子（原子）的内能。激发。 , 发生解离和电离。吸管处于激活状态。一方面，气体的分子结合被打开，产生几个单分子和固体颗粒。哦，过氧化氢。高能电子在这个过程中起决定性作用，离子的热运动只有副作用。
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