不同类型等离子体清洗机的优缺点介绍

目前，工业上常用气体放电产生等离子体，根据放电方式的不同，主要有：电晕放电、辉光放电、射频放电（RF）、介质阻挡放电（DBD）以及滑动弧放电等。在材料表面处理中采用低温等离子体，主要包括三类处理装置：射频真空等离子体清洗机、DBD等离子体清洗机和滑动弧射流等离子体清洗机。下面为大家介绍这三类等离子体清洗机各自的优势和不足之处。不同类型等离子体清洗机优劣势对比如下：
射频真空等离子体清洗机（真空）
射频（RadioFrequency，RF）低温等离子体是利用高频高压使电极周围的气体电离而产生的低温等离子体。其特点是射频放电需要在真空或亚真空条件下进行，材料每次处理完后，取出并重新放入待处理产品，操作复杂，成本昂贵，但是射频放电产生的等离子体分布均匀，适合处理精度要求高的材料。
真空等离子体清洗机
DBD等离子体清洗机（常压）
DBD等离子体是利用高电压击穿绝缘介质，产生大量随机分布的细微脉冲电流，诱导形成等离子体扩散至整个间隙，并与材料表面接触发生反应。DBD等离子体处理装置结构简单，可在大气压条件下进行，操作简单，成本较低，但放电区存在大量微小的流光放电，产生的等离子体的均匀性与射频放电相比存在一定差距，十分适合大面积材料的表面处理，如聚合物薄膜、软包装、片/板材、玻璃等。缺点是一般只适合用来处理平面，对于复杂形状的产品无法适用。
DBD等离子体清洗机
滑动弧射流等离子体清洗机（常压）
滑动弧射流等离子体清洗机的原理是：在两电极上施加高压引起电极间流动的气体在电极最窄部分被击穿产生等离子体，气流带动等离子体从喷嘴喷出并作用于材料表面产生表面改性。滑动弧射流等离子体就像火焰一般，但其平均温度比较低，不容易对材料产生灼烧。相比于射频真空等离子体清洗机和DBD等离子体清洗机，滑动弧射流等离子体处理装置在兼顾局部均匀性和装置结构简单的基础上，增加了装置灵活的优点，是一种很有前景的用于大规模工业化处理的方法。
射流等离子体清洗机
从产生等离子体的环境来看，等离子体清洗机主要分为真空类的和常压类的两种类型，真空类的等离子体清洗机适用性广，处理效果也优于常压的，但是缺点是设备价格昂贵，应用场景单一，适合大批量处理的材料。常压类等离子体清洗机，应用场景多变，无需真空环境，所以成本比较低，也容易实现工艺自动化处理工艺。简单来说，每一款等离子体清洗机都有其优势和短板，各自在不同的应用场景发挥其自身的优势。24307