大体来说，硅基上氧化铝薄膜附着力锂电池的生产包括极片制造、电芯制作以及电池组装三部分。在这三个大的工序中又有数道关键工艺，不同的生产工艺生产的电池性能差异很大。在3个制程中增加等离子清洗可以极大提高电池制造工艺水平。极片涂覆前等离子清洗锂电池的正负极片是在金属薄带上涂覆锂电池正负极材料而成，金属薄带在涂覆电极材料时，需要对金属薄带进行清洗，金属薄带一般为铝薄或铜薄，原来的湿式乙醇清洗，容易对锂电池其他部件造成损伤。
极片涂覆前PLASMA等离子清洗机清洗： 锂电池的正负极片是在金属薄带上涂覆锂电池正负极材料而成，非晶氧化铝薄膜附着力金属薄带在涂覆电极材料时，需要对金属薄带进行清洗，金属薄带一般为铝薄或铜薄，原来的湿式乙醇清洗，容易对锂电池其他部件造成损伤。等离子干式清洗机有效解决以上问题。 电池焊接前等离子清洗： 等离子清洗是一种干式清洗，主要是依靠等离子中活性离子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。
金属条一般为铝薄或铜薄。原来的湿式乙醇清洗容易对锂电池的其他部件造成损伤。干式等离子清洗机可以有效地解决上述问题。。常用的等离子体激励频率有三种：激励频率为40kHz的超声等离子体、激励频率为13.56MHz的射频等离子体和激励频率为2.45GHz的微波等离子体。不同等离子体的自偏压不同，硅基上氧化铝薄膜附着力超声等离子体的自偏压约为0V，射频等离子体的自偏压约为250V，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏。
PDMS 微流控系统等离子处理的 PDMS 聚二甲基硅氧烷（简称 PDMS）是一种非常常见且广泛使用的有机硅基聚合物。所有有机硅都具有重复的硅氧烷单元，硅基上氧化铝薄膜附着力每个单元由一个 Si-O 基团组成。许多侧基可以连接到硅原子上。对于 PDMS，这些侧基是甲基 CH3。聚合物可以与各种链端结合。更常见的是三甲基硅氧基Si-SH3。
铝薄膜附着力
另外，由于蚀刻和侧墙吸附保护的步骤同时进行，特征图形的侧墙会变得相当光滑。这种同时进行的蚀刻和保护步骤也会加快蚀刻进程。所以，这种在超低温条件下运用等离子表面处理机SF6/O2连续等离子体蚀刻硅基材的过程被称作标准超低温过程。 精准控制含SiOxFy无机副产物构成图形侧墙的保护层将会是标准超低温蚀刻工艺中的关键步骤。
正因为圆片清洗是半导体制造过程中最为重要、最为频繁的步骤，而其工艺质量直接影响着设备的成品率、性能和可靠性所以国内外各大公司、研究所等都在不断地对清洗工艺进行研究。离子清洗是一种先进的干式清洗技术，具有绿色环保等特点，随着微电子行业的快速发展，等离子清洗机在半导体工业中的应用日益增多。 现在，相对于PDMS和硅基材料的低温粘结有多种方法。
即相变存储器在01之间切换。这两种状态可以通过利用电流的焦耳热效应加热相变材料来快速切换和循环。逻辑后端工艺的高温决定了相变材料的初始状态多为晶相（低电阻）。向非晶相的转变需要非常短的时间，以使非常大的电流脉冲通过下部电极触点（BOTTOM ELECTRODE CONTACT，BEC）以熔化一些相变材料并将其退火增加。通过熔融退火转化为非晶相的这部分区域是可编程区域。
硅藻土中的硅藻壳具有特殊的微孔结构和由非晶态二氧化硅组成的壳壁，这些分布在壳壁上的小孔为催化剂活性组分的均匀吸附或包覆提供了良好的条件。此外，硅藻土本身具有良好的渗透性，使流体能够以更大的流量通过，因此硅藻土成为钒催化剂的重要载体。我国硅藻土储量丰富，但可作为钒催化剂载体的优质硅藻土较少。近年来，由于政府采取保护性开采措施，允许开采的优质硅藻土矿山越来越少。
非晶氧化铝薄膜附着力
在等离子表面处理过程中，硅基上氧化铝薄膜附着力等离子体与材料表面撞击时会将自己的能量传递给材料表面的分子及原子，因此产生一系列的物理和化学反应过程。也会通过注入粒子或气体到材料表面引起碰撞、散射、激发、重排、异构、缺陷、晶化及非晶化，以此达到改变材料的表面性能的处理效果 。等离子体表面处理工业设备在数字工业中的应用：塑料作为一种替代金属的新材料，表面的涂装非常困难。
