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  等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有(机)污染物、油污或油脂。

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以CeO2/Y-Al203为催化剂,在反应温度为973K时可发生CO2 氧化CH6脱氢反应,反应温度和反应气配比对反应结果有较大影响;在等离子体 与催化剂共同活化CO2氧化C2H6转化反应中催化剂性质对反应有明显影响,金属氧化物催化剂有利于乙烷转化制C2H2和C2H4,金属催化剂可提高C2H4在产物中的百分比。。

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等离子体可分为高温等离子体和低温等离子体两种。冷等离子体的电离率低,电子温度远高于离子温度,离子温度甚至可​​以与室温媲美。因此,冷等离子体是一种非热平衡等离子体,冷等离子体具有比普通化学反应更多样化、更活跃、更容易接触的许多活性粒子。它用于修改材料的表面,因为它会导致材料上的表面反射。市面上的低温等离子表面处理设备种类繁多(点击查看详情),让人眼花缭乱。

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ICP等离子体增强气相沉积(ICPECVD)是化学气相沉积技术中的一种其基本原理是将射频放电的物理过程与化学气相沉积相结合,增强附着力涂层材料是什么利用ICP等离子体对反应前驱体进行裂解,如制备高硬度、耐高温、耐腐蚀的Si3N4薄膜[11]。