等离子体的化学反应化学反应只能在分子能量超过活化能的情况下发生。常规化学中，能量是由分子与分子或分子与壁面之间的磕碰来传递的。等离子体中，一方面，振动能按一定顺序增加到小的响应能量；另一方面，电子与分子的碰撞能传递更多的能量，使中性分子变为多个活性成分，或使中等活性成分电离，而新的成分则主要包括超活性中性粒子、阳离子和阴离子。
传统的化学反应不能产生很多新的成分，但等离子体却成为一种非常强大的化学操作手段，它背负着催化作用。一般而言，温度较低的反应，也许一定温度下反应速度加快的反应，都是受等离子体的影响。但在能量范围分布很广的等离子体中，电子的激发或离子化并不具有选择性。一种等离子体系统中，许多不同类型的活性粒子都能引起大量的反应，在反应过程中，特别重要的、有重大意义的粒子几乎是不可能被操纵的。高能量粒子可以破坏等离子体环境中分子的共价键。
利用强局域场参与到高能电子和非平衡等离子体中强电子散射函数的尾部，有可能产生新的化学反应。等离子体环境有利于产生许多化学反应。气体种类、流速、压强、输入功率等工艺参数决定某一反应能否产生首要输入工艺参数。边境与底端之间也会有多种反应。烧蚀率和堆积率是通过相关表面处理得到的。用有机蒸汽作工作气体时，会发生等离子体的聚合和聚集。刻蚀堆积过程中，材料表面与等离子体中原有的或新生成的成分发生反应，即表面条件，如污染物、阻聚剂、阻档层、气体吸附等，都会对过程动力学和堆积薄膜特性产生影响。等离子体中的分子被分解成高活性的成分，这些高活性的成分随后与有机物发生反应。氢气既能与双键相连，又能从其它分子中分离出来。氧类等离子体中，电离和解离能的成分很多。其他的，也可以构成像O2(1△g)这样的亚稳态成分。
对于氧原子来说，重要的反应就是加入一个双键，CH键变成羟基或羧基。氮气可以和饱和或不饱和分子发生反应。等离子体化学的一个有趣的发展是，把原来简单的分子分解成混乱的分子结构。典型的反应包括：异构化，消除原子或小基团，二聚/聚合，以及破坏原始数据等等，例如，甲烷、水、氮和氧等气体通过辉光放电的混合，终获得了来自生命的物质——氨基酸。等离子体中存在顺反异构化，成环，开环反应。除单分子反应外，还能产生双分子反应。等离子体的化学反应00224555