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等离子废气处理环保虽然有很多优点，但也有一些缺点和注意事项。
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化学反应室中的气体电离是指离子、电子、自由基等活性物质的等离子体，通过扩散吸收于表象介质中，并与表象介质中的原子反应，形成挥发性物质。而且，高能离子在一定压力下物理轰击和蚀刻介质的外观，去除再沉积的化学反应产物和聚合物。介质层的刻蚀是通过化学和物理相互作用完成的。刻蚀是晶圆制造的重要环节，也是微电子IC制造工艺和微纳制造工艺中的重要环节。
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