1 高频感应等离子体发生器，拉开法附着力定心装置又称高频等离子体炬，或称射频等离子体炬。它利用无电极的感应耦合，把高频电源的能量输入到连续的气流中进行高频放电。2 电弧等离子体发生器，又称电弧等离子体炬，或称等离子体喷枪，有时也称电弧加热器。它是一种能够产生定向“低温”（约 2000～20000开）等离子体射流的放电装置。
主要过程包括:首先,工件清洗到真空室固定,启动真空泵和其他设备开始大约10 pa真空度的真空排气;然后介绍等离子体清洗气体进入真空室(根据不同的清洗材料,气体是不同的,如氧、氢、氩、氮、等),在真空室中，拉开法附着力定心装置在电极与接地装置之间施加高频电压，将气体击穿并通过辉光放电使其电离，产生等离子体。待真空室中产生的等离子体完全覆盖被清洗工件后，开始清洗操作，清洗过程从几十秒到几分钟不等。
在这个装置中，拉开法附着力定心装置两个电极被放置在一个封闭的容器内以形成一个电场，一个真空泵提供真空。随着气体越来越稀薄，分子结构与分子结构或离子自由运动的距离越来越大。它们在电场的作用下与等离子体碰撞形成等离子体。它的活性非常高，能量转换足以破坏几乎所有的离子键，并且在暴露的表面上会发生化学反应。在真空下，等离子体对工件表面进行化学或物理处理，以去除分子结构水平（通常为 3 至 30 纳米厚）。
在电场的作用下，拉开法附着力试验仪器气体中的自由电荷从电场中获得能量，成为高能电子。这种高能电子与气体中的大分子碰撞。如果电子的能量大于大分子或原子的刺激能量，就会产生刺激大分子或原子的自由基。等离子体表面处理中的活性粒子通常具有接近或超过碳或其他碳键的能量，因此它们可以随着气体或固体表面引入系统而产生化学或物理效应。
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其中，波的长度和能量对等离子体与物体表面的相互作用起着重要作用。1）原子团等自由基与物体表面反应。2）电子对物体表面的作用。3）离子对物体表面的作用。。真空等离子体表面处理设备，利用能量转换技术将气体转化为高活性等离子体进行处理，真空等离子体表面处理设备应用优势，清洗时间可任意调节，适用于各种环境。
等离子体是由带正电荷的正负粒子（包括正离子、负离子、电子、自由基及各种活性基团等）组成的集合体，其中正负电荷电荷相等，故称等离子体，是除固体、液体、气体外物质存在的第四种状态--等离子体状态。浩瀚宇宙中99%的物质存在于等离子体中并展开等离子体能量改变了世界处于等离子体状态的物质具有很高且不稳定的能级。
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