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。等离子蚀刻机晶圆和线路板制造行业的应用情况:一、等离子蚀刻机应用介绍(1)晶圆制造行业应用芯片制造工业中四氟化碳气体用于硅片的线刻蚀, 等离子蚀刻机使用四氟化碳来进行氮化硅刻蚀和光刻胶。用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧配合的方法,等离子蚀刻机能够在晶圆上形成微米级的氮化硅刻蚀,四氟化碳可与氧、氢配合使用四氟化碳来去除。
物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面最终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质。
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新型等离子表面处理机十大好处之八:等离子清洗各种材料无论能否加工金属、半导体、氧化物、高分子材料(聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂、其他聚合物等)都可以加工。用等离子。因此,广东专业定做等离子清洗机腔体厂家现货它特别适用于不耐热和不耐溶剂的材料。您还可以选择性地清洁材料的整体、局部或复杂结构。新型等离子表面处理机的十大优点中的九个,在清洗去污的同时,还能提高材料本身的表面性能。
有人或许会问:温度达几千度怎样还是低温。要知道在这时,广东专业定做等离子清洗机腔体厂家现货粒子的温度与用温度计测出的温度是不同的。因为这时的气体密度很低,所以用温度计测得的温度与外界环境的温度相差无几,所以实践上是低温等离子体。当气体处于高压状况并从外界取得很多能量时,粒子之间的相互碰撞频率大大增加,各种微粒的温度根本相同,即Te根本与Ti及Tn相同。