2008年底，等离子体发电机的能量转化中芯国际（国际）获得IBM的45纳米（米）量产加工许可，成为中国第一家向45纳米迈进的半导体企业。此外，在2008年前后的两个阶段，市场占有率较高的等离子发生器的趋势与半导体行业的销售趋势一致，反映出清洗设备的需求稳定，单晶圆清洗设备是在市场上占据主导地位后，这个百分比显着增加（显着），反映了单晶片清洗设备和清洗程序对半导体材料行业发展的影响。
为什么单晶圆等离子发生器对半导体行业产生如此大的影响？就全球市场份额而言，等离子体发电机的能量转化自 2008 年业界推出 45 NM 结以来，单晶片清洗设备作为主要的等离子发生器，其性能已超过自动清洗设备。据 ITRS 称，2007 年实现了 45 NM 工艺结的量产。松下、英特尔、IBM、三星等在此期间，我们开始量产 45NM。
2008年底，等离子体发电机的能量转化中芯国际（国际）获得IBM的45纳米（米）量产加工许可，成为中国第一家向45纳米迈进的半导体企业。此外，在2008年前后的两个阶段，市场占有率较高的等离子发生器的趋势与半导体行业的销售趋势一致，反映出清洗设备的需求稳定，单晶圆清洗设备是在市场上占据主导地位后，这个百分比显着增加（显着），反映了单晶片清洗设备和清洗程序对半导体材料行业发展的影响。
在 250-800 NM 波长范围内，等离子体发电机的能量转化甲烷转化过程中产生的主要活性物种。等离子体的作用是 CH（430.1 至438.7 NM）、C（563.2 NM、589.1 NM）、C2（512.9 NM、516.5 NM）和 H（434.1 NM、486.1 NM 和 656.3 NM）。在等离子体放电区，首先产生高能电子。
等离子体发电机的能量转化
忽略：CH2 + CH4 + M & MDASH;> C2H6 + M (3-14) CH + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + H + M (3-15) C + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + M (3- 16) C + CH4 + M & MDASH;> C2H2 + H2 + M (3-17) 另一方面，由于甲烷等离子体的发射光谱中存在 C2 物种，乙炔也可能是由以下途径产生。
由于C2H6是甲烷脱氢偶联反应的初级产物，C2H4和C2H2分别是C2H6和C2H4进一步脱氢的次级产物，因此存在以下反应途径。研究了脉冲电晕等离子体中纯乙烷和纯乙烯的脱氢反应，纯乙烷脱氢的主要产物是C2H4和C2H2，纯乙烯脱氢的主要产物是C2H2。如图3-20），等离子体作用下的甲烷脱氢偶联反应有一条反应路径。
Y-AL2O3催化剂当进一步增加时，不能增加C2烃类产品中C2H4的摩尔分数，而是促进C2H4转化为C2H6，使C2烃类产品中C2H6的摩尔分数增加。活性成分 PD 和 LA2O3 的推荐负载量分别为 0.01% 和 5%。即催化剂为0.01% PD-5% LA2O3 / Y-AL2O3。
也就是说，单个甲烷分子的转化往往会消耗多个高能电子。 CO2主要是一次分解，转化一个CO2分子所消耗的高能电子数量少于甲烷。对于甲烷转化，您需要选择较低的功率密度。功率密度对C2烃和CO收率的影响随着功率密度的增加呈线性上升趋势，CO收率直线的斜率明显高于C2烃收率。 C2烃收率方面，随着功率密度从350KJ/MOL提高到2200KJ/MOL，C2烃收率从5.7%提高到20.6%，提高了近15个百分点。
等离子体发电机的能量转化
当气态物质被加热到更高的温度或气体受到高能量作用时，等离子体发电机的能量转化气态物质转化为等离子体体，这是第四态。在这种情况下，一些气体原子解离成电子和离子，还有一些在成为具有化学活性的半稳定原子之前吸收能量。在这种情况下，不仅有具有一定能量的中性原子和分子，而且还有相当数量的带电粒子和具有一定化学活性的半稳态原子和分子。电离自由电子的总负电荷和总正离子这种高度电离的微观中性气体称为等离子体。
