下面由等离子体发生器的制造商描述仪器行为的演变。在 PLC 出现之前,浙江真空等离子供应所有等离子发生器的控制系统都是由继电器控制的。中控通常包括按键和触摸两种控制方式。按钮控制是指使用手动控制来控制电气设备的电路。触点控制是使用继电器进行逻辑控制,包括电气设备电路和继电器本身的线圈。继电器控制是将电气元件的机械触点串联和并联连接,形成逻辑控制电路。实验真空等离子清洗机由按键操作控制。

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频率选择通常为 13.56MHz 和 2.45GHz。有效输出:对于一定量的气体,真空等离子供应输出功率大,活性粒子密度高,脱胶速度快,但当输出功率增加到一定值时,消耗能量的活性离子达到饱和状态,之后输出功率增加,脱胶速度也不清楚。电源的大小应根据实际应用标准进行调整。真空值选择:适度提高真空值会增加电子的平均自由程和从静电场获得的动能,有利于弱电解质。

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