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其反应可用下列方程描述：激发(包括转动、振动和电子激发)： e+A2→A*2+e解离附着：e+A2→A- +A+ +e解离：e+A2→2A+e解离电离：e+A2→A+ +A+2e复合：e+A+ →A +hv重粒子间的非弹性碰撞反应：重粒子之间的非弹性碰撞发生在分子、原子、活性基团和离子之间，重粒子之间的反应可以分为离子-分子反应和活性基团-分子反应。
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一般情况下用于新材料表面改性或合成新材料的等离子体，广东真空式等离子处理机生产厂家通常是由低气压放电产生的。按温度分类：高温等离子体和低温等离子体 高温等离子体是高于 00℃的等离子体，如聚变、太阳核心。高温等离子体中的粒子温度T> 108-109K，粒子有足够的能量相互碰撞，达到了核聚变反应的条件。 低温等离子体又分为热等离子和冷等离子体两种。
