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如何判断它是否是真正的低温等离子体技术?你不需要了解冷等离子体技术就能知道它的真假,等离子调高器不自动调高但有两个简单的规则:(1)烟气处理通道必须充满低温等离子体。这个判断规则很简单,只要眼睛观察加工通道是否充满紫蓝色放电,就可以直观的知道是否是低温等离子体(重要的是要注意各种颜色的光作为低温体放电)。如果烟气处理通道中只有零星分布的排放点或排放线,低温等离子体处理效果非常有限。
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等离子体是一种部分电离的气体,等离子调高器不自动调高由带电粒子如正离子、负离子、自由电子和中性粒子如激发态分子和自由基组成。因为它的正电荷和负电荷总是相等的,所以被称为等离子体。一些非化合无机气体(Ar、N2、O2等)在高频、低压下被激发,产生含有离子、被激发分子、自由基等活性粒子的等离子体。
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整个过程依靠等离子体在电磁场中的运动对物体表面进行轰击,其中大部分需要高能低电压的物理清洗。在它到达表面之前,原子和离子的速度达到。因为等离子体在加速,它需要大量的能量,所以等离子体中的原子和离子可以加速。要增加原子碰撞前的平均距离,也就是说,路径越长,离子轰击干净产品表面的机会就越大,需要低电压。
气体流量一般对VDC影响不大,但如果采用混合气体,当气体相对流量增大时,VDC单调增大,一般来说,加入弱电负性气体时,负偏置会急剧增大。对于电负性气体放电,小的流量变化对VDC的影响不大。2.1.2.2 pressusure也影响VDC,压力高,更多的分子、原子和电电子和离子在碰撞时产生,从而通过增加更多的自由电子和增加负偏置来增加压力。
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由于ch3-ch3键的键能为3.8eV, ch3ch2-h键的键能为4.2eV(等离子体中电子的平均能量为6eV),等离子调高器显示碰撞所以等离子体对C2H6分子的解离方式为:C2H6 + e* CH3 + CH3 + e (3-38)C2H6 + e* C2H5 + H + e (3-39) CO2分子与高能电子的非弹性碰撞导致c-O键断裂,产生活性氧:CO2 + e* CO + O- (3-40)CO2 + e* CO + O +e(3-41)活性氧与C2H6分子非弹性碰撞形成C2H4和C2H2:C2H6+0 C2H4+H2OC2H6+O- C2H4+H2O+e (3-42)C2H6+ 2oC2H4+H2O C2H6+2O-C2H2+2H2O+2e(3-43)因此,随着CO2加入量的增加,更多的氧与乙烷反应生成乙烯和乙炔。