在活塞位置 I 和 II 处，法兰喷锌电附着力比钢板差吸气法兰中的容积将会增大。将活塞继续旋转到位置 lll 时，部分容积将被从吸力侧密封。在位置 IV 处，将该容积打开至出口侧，现有气体将会在预真空压力（高于吸入压力）下涌入。涌入的气体将会压缩从吸入侧输送的气体体积。活塞继续旋转时，将会通过出口法兰排出压缩气体。每完整旋转一圈，针对每两个活塞重复执行此过程两次。通过输送室内的无接触式运行，可以以较高转速运行摇杆式活塞泵。
(D)接触时间：待清洗材料在等离子体中的接触时间对材料与等离子体的表面清洗效果影响很大。工作效率。接触时间越长，附着力比较高的漆清洗效果越好，但工作效率越低。此外，长时间清洁会损坏材料表面。 (E)渗透率：与常压等离子清洗工艺相比，清洗大型物体时会出现连续渗透的问题。因此，被清洗物与电极的相对运动越慢，清洗效果就越高，但如果太慢，工作效率就会变差，表面也会受到损伤。
经过等离子处理的元器件表面具有更高的表面能，附着力比较高的漆能够实现其与塑封料的结合，减少塑封工艺技术中分层、针孔等现象的产生。2). 氩气可形成氩离子，并可以利用材料表面生成的自偏压对材料进行溅射，消除表面吸附的外来分子并能够有效去除表面金属氧化物 。在微电子打线前的进行等离子处理是一种比较典型的工艺。如经过等离子体处理后的焊盘表面，清除了有机污染物和氧化物，能够有效提高打线和焊线时的可靠性，提高良率。。
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最重要的是，可以在任何时间进行第二次等离子体处理而不会使待处理的产品降解。这相对于使用可能损坏被处理材料的刺激性化学品的许多处理方法而言，优势十分明显。此外，真空等离子是当今最环保的深层清洁技术。没有化学废弃物，对员工或设施没有危险，也没有化学品购买或储存，是一种简单高效并且绿色环保的处理方法。 等离子体活化最常用于电子器件的制造，特别是电子传感器和连接器。
在刻蚀和堆积进程中，资料表面与等离子体中原始的或新生产的组分产生反响，这意味着表面条件，如污染物、阻聚剂、阻档层、气体吸附等十分重要，会对进程动力及堆积的薄膜特性产生影响。 分子在等离子体中解离后变成高活性组分，然后这些活性组分再与有机化合物产生反响。氢原子既能够连接到双键上，也能够从其他分子中抽离原子。在氧等离子体中，电离和解离能构成多种组分。别的，还能够构成如O2（1△g）等亚稳态的组分。
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