非弹性碰撞导致激发（分子或原子中的电子从低能级跃迁到高能级）。能级）、解离（分子分解成原子）或电离（分子或原子从外部电子的键合状态变为自由电子）。热气体通过传导、对流和辐射将能量传递到周围环境。在稳态下，硬板等离子体清洗机特定体积的输入能量和损失能量相等。电子与重粒子（离子、分子、原子）之间的能量转移率与碰撞频率（每单位时间的碰撞次数）成正比。
阶段是到达基质表面的碳。以基体表面缺陷、金刚石子晶等为中心的原子的成核和生长。因此，硬板等离子体清洗设备决定金刚石成核的因素有： 1. 基体数据：由于成核取决于基体表面碳饱和程度和到达核心的碳量，因此基体数据的临界浓度以及碳分散因子对成核有显着影响。 .色散因子越高，就越难达到成核所需的临界浓度。有了这些数据，很难直接对铁、镍和钛等金属基体进行成核。另外，对于碳色散因子低的数据，金刚石可以快速成核，如钨、硅等。
与组件的小面积接触导致与熔合接触，硬板等离子体清洗机这发生在材料之间并形成失效原因。此外，零件的高速运转扩大了损坏的来源，导致附着的零件撕裂或剥落并嵌入摩擦副之间。这些硬质颗粒在两个滑动面之间形成切削作用，破坏摩擦面，造成熔合磨损。这种由熔合磨损引起的过程本质上是“以两个滑动面局部熔合为特征的严重损伤”。
由于速度较慢，硬板等离子体清洗机当板材沿厚度方向受热时，其顶面和底面将一起处于塑性状态。板的正面先受热，板的背面受热时先膨胀，使板产生很小的反向弯曲变形。由于加热速度较慢，来自正面的热量缓慢地传递到背面，导致正面和背面之间的温度梯度非常小。在相对较大的受热区域，材料随着温度的升高继续热膨胀，相邻区域的冷材料需要限制膨胀，从而导致受热区域的整体压缩更大。
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这种结构就是护套层，可以是上面的电容器。电容器处于放电环境中，电荷存储在表面上，从而产生电场。电场必须对应于电压。由于平衡，也就是这个电场，和电压是动态的静电场，也就是直流电场和直流电压，就形成了一个VDC。腔室的内壁接地，形成的偏置场阻挡电子，因此这个 VDC 在接地的内壁上具有负值或负偏置。施加到电极上的负偏压与射频电压一起形成复合电压，如下图所示。
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