外部电子能量为了解离一个中性气体原子，软板等离子体活化机它必须大于这个结合能，但是由于外界的电子往往缺乏能量，不具备解离一个中性气体原子的能力，所以需要使用以下方法的。提供原子电子能量的外部能量，使电子可用于解离该中性气体中的原子。向电子添加能量的最简单方法是使用平行电极板施加直流电压。电极中的电子被带正电的电极吸引和加速。在加速过程中，电子可以储存能量。当能量达到一定水平时，它具有解离中性气体原子的能力。
等离子体中自由基的存在具有清洁作用：基体与物体表面发生化学链式反应，fpc软板等离子体表面处理机器产生新的自由基或进一步分解，最终分解为挥发性小分子，对微米有效，可穿透材料表面到几个深度，表面附着物质的分子键，分解分解，具有活化材料表面的作用。
塑料、橡胶、纤维等高分子材料在成型过程中加入的增塑剂、引发剂、残留单体、分解剂等低分子物质，软板等离子体活化机很容易在材料表面沉淀和聚集，呈无定形。形成一层并提高润湿性。性能会降低。尤其是医用材料，小分子物质的浸出会影响机体的正常机能。冷等离子体技术可以在高分子材料表面形成交联层，这可以成为小分子材料渗透的屏障。
2、组织相容性：组织相容性是指机体组织与异物的相容程度，软板等离子体活化机有两层含义。一是机体对异物的反应和影响。身体本能地排斥异物。即使无毒聚合物进入体内，也会排斥异物，引起不同程度和不同时间的反应。高分子材料的生物接受性的决定性因素首先是高分子材料本身的化学稳定性，其次是其与生物组织的亲和力。此外，要求材料对基材无不良影响，如引起炎症、过敏、致畸反应等。与组织相容性有关的对象是组织和细胞。
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这是因为增加压力会增加碰撞，降低等离子体消光的可能性，降低等离子体能量，从而减慢蚀刻速率。一般来说，射频功率越高，蚀刻速率越快，因为等离子体离解速率越高。这些蚀刻方法比较常见，研究比较深入，报道较多。相比之下，铟镓砷在鳍式场效应晶体管的制造中已有报道，但相关蚀刻的细节尚未披露。从使用的气体来看，应该是化学反应和快速冲击的结合。 BCl3 容易与砷化铟镓的各种元素发生反应，而 Ar 可能是一个影响源。
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