透气性净化气体选用氩气或氢气混合物，氩气等离子体活化机选用氩气。如果是清洁气体，清洗功率为~200W，清洗时间为。50~ s，气体流量为300cm，通过RADIO频率清洗。。在汽车行业中，为了使汽车零部件具有更好的隔音(效果)，许多零部件需要植绒，如手套箱、中控储物室、收音机槽、门板等。通常植绒基材是云母和PP的混合物，绒毛材料是在静电作用下植入PP表面的湿粘涂层中。
可有效避免液体清洗介质对被清洗物体的二次污染。在应用的过程中，氩气等离子体活化机要有一定的风险控制意识。1. 真空低温等离子处理器存在以下风险:(1)清洗介质泄漏风险:清洗介质通常为气体，通常使用气瓶，通过管道输送到设备。如果钢瓶或充气器泄漏，管道和气体设备泄漏可能导致事故。如果使用氢气、甲烷等易燃易爆气体，有明火和静电的房间可能发生火灾和爆炸事故。如果使用氩气，室内通风可能不好，导致窒息事故。
与烧灼处理相比，氩气等离子表面处理设备等离子处理对样品没有损伤。同时，整个表面可以处理的非常均匀，没有有毒烟雾，中空和缝隙样品也可以处理。等离子体表面处理的效果可以简单地用水来验证。处理后的样品表面被水完全浸湿。等离子体处理时间长(超过15分钟)，材料表面不仅被活化，而且还被蚀刻、蚀刻表面具有最大的润湿性。常用的加工气体有:空气、氧气、氩气、氩氢混合物、CF4等。
等离子体处理装置主要用于清洗物体表面的有机化合物并产生氧化反应。还有一种气体处理设备，氩气等离子表面处理设备如氩气、氦气和氮气，氮气处理可以提高材料的硬度和耐磨性。氩和氦本质上是稳定的，低放电电压(氩原子的电离能E为15.57eV)容易生成亚稳态原子。首先，等离子体处理设备利用其高能粒子的物理作用，对易被氧化或还原的物体进行净化。Ar+的电离能产生亚稳态原子，从而避免了表面材料的反应。
等离子体处理后的构件表面具有更高的表面能，可以实现其与塑料密封材料的结合，减少塑料密封技术中的分层、针孔等现象。2)氩气可以形成氩气离子，可以利用材料表面产生的自偏置对材料进行溅射，消除吸附在材料表面的外来分子，有效去除表面的金属氧化物。等离子体处理是微电子布线前的典型工艺。经过等离子体处理后的焊盘表面，去除了有机污染物和氧化物，可有效提高焊丝和焊线的可靠性，提高成材率。。
从机理上看:等离子体清洗机在清洗过程中通过工作气体在电磁场的作用下，等离子体与物体表面产生物理反应和化学反应。物理反应机理是活性粒子轰击被清理表面，使污染物从表面被清除，最后被真空泵吸走。化学反应机理是多种活性颗粒与污染物反应生成挥发性物质，然后由真空泵吸入挥发性物质，从而达到清洗的目的。我们的工作气体经常使用氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。
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氩气等离子体活化机
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