焊盘引线连接前的制备方法是射频驱动的低压等离子体技术。采用等离子表面处理技术对设备表面进行清洗，等离子表面处理设备价格提高引线抗拉强度，减少设备故障，提高设备合格率。芯片内导线连接的质量对微电子设备的可靠性有很大影响，连接区域必须保持无污染，连接性能良好。氧化物、有机残留物等污染物的存在会严重削弱导线连接的拉伸值。
为了提高原料表面的润滑性能，表面处理种类理想的改进方法是低温等离子体处理技术。等离子体是一种电离的气态物质“，包括电子器件、共价键和中性粒子，以及能量较高的各种粒子的组合，等离子体按温度分为高温等离子体和低温等离子体，通常采用等离子体清洗机处理技术改善原料表面。
采用化学或物理方法，表面处理种类通常为3～30nm厚，对工件表面进行化学或物理处理，在分子水平上去除污染物。去除的污染物包括有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、颗粒污染物等。对不同的污染物应采用不同的清洗工艺。根据所选工艺气体的不同，等离子体清洗可分为化学清洗、物理清洗和物化清洗。
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等离子体的方向性不强，使其深入到物体的微孔和凹陷处完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且，这些不易清洗的部位，清洗效果甚至比氟利昂清洗还要好；5.采用等离子清洗，可大大提高清洗效率。整个清洗过程可在几分钟内完成，因此具有收率高的特点；等离子体清洗需要控制真空度在Pa左右，这种清洗条件很容易达到。
许多行业使用低温等离子体处理设备来提高产品的结合性能。用于活化材料表面处理的等离子体表面处理设备具有以下五大优点：1.产品质量更加稳定，不会出现粘附不稳、粘附性差的效果；可以直接消除其他处理条件对环境和设备的影响；2.加工业成本降低，可节约成本40%以上；等离子体处理后的表面性能稳定，可长期保持；3.可在线加工，降低成本，提高工作效率，增加产品良品率。
PMMA是人工晶状体移植常用材料，但其与角膜上皮细胞接触可导致角膜上皮细胞损伤。通过接枝或真空等离子体清洗机辐照处理，可在PMMA表面沉积亲水性单体，如异丁烯酸羟乙酯或N-乙烯基吡咯烷酮。
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表面处理种类
PMMA（丙烯酸酯，表面处理厚度也叫有机玻璃）和玻璃由于成本低、性能稳定，常被用于制作微流控芯片。一般来说，水包油液滴微流控芯片往往要求表面亲水，而油包水液滴微流控芯片往往要求表面疏水。在一般情况下，PMMA与玻璃的水滴接触角小于90℃；，表现出良好的亲水性；如果要疏水表面，即水滴接触角大于90°&；，你需要进行疏水治疗。
5.经等离子表面处理器处理后，表面处理种类材料表面的附着力大大提高，有利于后续的印刷、喷涂、粘接工艺，保证了质量的可靠性和耐久性。6.等离子体表面处理为干法处理，环保无污染等离子体表面处理所用耗材多为普通气体，包括压缩空气、氧气、氩气、氮气等工业气体。它是干法工艺，省去了湿化学处理工艺中不可缺少的干燥和废水处理工序，因此具有节能、环保、无污染等优点。7.等离子体表面处理厚度在纳米（米）级，不破坏材料特性。
