在外加电场加速下，电晕机产生的臭氧多久分解部分电离气体中的电子与中性分子碰撞，并将从电场中获得的能量转移到气体中。电子与中性分子的弹性碰撞导致分子动能增加，表现为温度的升高；非弹性碰撞导致激发（分子或原子中的电子从低能级跃迁到高能级）、解离（分子分解为原子）或电离（分子或原子的外层电子从束缚态转变为自由电子）。高温气体通过传导、对流和辐射向周围环境传递能量。在稳态条件下，给定体积中的输入能和损失能相等。
（2）有些分子受高能电子碰撞刺激，电晕机产生的臭氧氮氧化物危害原子键断裂形成小的碎片基团和原子。(3)-O、-OH、-HO2与原子、有机分子、破碎基团等自由基反应。其中一些被氧化分解为CO、CO2和H2O等恶臭成分。
XY分子与电子的碰撞也可以将其分解为X原子和Y原子（分离）。如果您使用&ldquo；:&rdquo；表示分子中的成键电子对，电晕机产生的臭氧氮氧化物危害则解离过程可用x:Y&rarr表示；X.+。Y；这样，X和未配对电子（在X和Y旁边用符号&中点；易发生化学反应，故可称为化学活性种或自由基）。自由原子如H、O、CI和分子如CH3、CF2、SiH3都是等离子体清洗机中的基团。
（3）链转移反应：H+C2H6&RARR；C2H5+H2(3-29)CH3+C2H6&RARR；C2H5+CH4(3-30)CH3+E*&Rarr；CH2+H(3-31)CH2+E*&Rarr；CH+H(3-32)CH+E*&RARR；C+H(3-33)（4）链终止反应：CH3+H&RARR；CH4(3-34)CH2+CH2&RARR；C2H4(3-35)CH3+CH&Rarr；C2H4(3-36)CH+CH&RARR；C2H2(3-37)低温常压下，电晕机产生的臭氧多久分解纯乙烷在等离子体作用下可脱氢生成乙炔；、乙烯、少量甲烷和积碳，但存在转化率低、反应器壁积碳等问题。
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同时，高活性氧离子断键后可随分子链发生化学变化，形成活性基团亲水性表面，达到表面活化的目的；有机物污染物元素与高活性氧离子断键后产生化学变化形成分子结构，如CO.co2.H2O，从而达到表面清洁的目的。O2适用于高分子材料的表面活化和有机污染物的去除，但不适用于易氧化的金属表面。真空等离子体中的氧等离子体为浅蓝色，某些放电条件与白色相似。放电环境的光线比较明亮，真空室内的放电可能肉眼看不到。
正如将固体转化为气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）的混合物组成的。离子体可以导电并与电磁力发生反应。当温度升高时，物质从固体变成液体，液体会变成气体。当气体的温度升高时，气体分子就会分离成原子。如果温度继续升高，原子核周围的电子就会脱离原子，变成离子（正电荷）和电子（负电荷）。
当这些氧基等离子体喷涂在材料表面时，附着在衬底表面的带有（有机）污染物的碳分子可以被分离并转变为二氧化碳后被清除（去除）；同时有效提高了材料的表面接触性能，增加了强度和可靠性。
活性组分Pd和La2O3的推荐负载量分别为0.01%和5%，即催化剂为0.01%Pd-5%La2O3/Y-Al2O3。。
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