典型的等离子化学清洗技术是氧等离子清洗。在此过程中中行成的氧自由基是极其活跃的,附着力促进剂不会挥发很容易与烃类发生反应,行成挥发性物质,如二氧化碳、一氧化碳和水等,从而去除表面的污染物。
物理反应机理是活性粒子轰击被清理表面,附着力促进剂不会挥发使污染物从表面被清除,最后被真空泵吸走。化学反应机理是多种活性颗粒与污染物反应生成挥发性物质,然后由真空泵吸入挥发性物质,从而达到清洗的目的。我们的工作气体经常使用氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。
其中,台州耐高温附着力促进剂物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面最终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质,从而达到清洗目的。 我们使用的工作气体,经常用到氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。
2. 等离子体是由电子、离子、自由基、激发态分子和原子、基态分子和光子等组成,台州耐高温附着力促进剂表面上看呈电中性,其实内部具有很强的电特性、化学特性和热效应。
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由于电子质量极小,因此比离子的移动速度要快的多,当进行等离子体处理时,电子要比离子更早达到物体表面,并使表面带有负电荷,这有利于引发进一步反应。
当这样产生的电子在电场中加速时,它们将获得高能量并与周围的点分离当电子或原子碰撞时,其结果是电子在分子和原子中被激发,它们处于被激发或离子状态。此时,物质存在的状态是等离子体状态。除了气体分子、离子和电子外,还有电中性原子或原子团(也称自由基)被等离子体发出的能量和光激发,其中波的长度和能量在等离子体与材料表面的相互作用中起着重要作用。氮气作为一种非活性气体,在等离子体清洗过程中主要用作非反应性气体。
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