在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，高附着力树脂的特点使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完(全)笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十(分)钟不等。清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。 等离子体清洗的另一个特点是在清洗完成之后物体已被彻底干燥。
等离子清洗还具有以下特点：易于采用数控技术，高附着力树脂的特点有哪些自动化程度高；采用高精度控制装置，时间控制精度很高；正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，确保清洗面不受二次污染。。等离子体清洗机的关键是低温等离子体的应用，低温等离子体的应用主要取决于高温、高频、高能量等外界条件。它是一种电中性的、高能的、完全或部分电离的气态物质。
图1-5(a)所示为单间隙单介质阻挡放电反应器的结构。其特点是电介质与高压电极相连，高附着力树脂的特点放电区在接地电极与电介质之间，结构简单，常用于制造臭氧。图1-5(b)所示为双间隙单介质阻挡放电反应器的结构。其特点是等离子体清洁器的上下电极与介质形成两个不同的反应区，一般用于产生两种不同组分的等离子体。图1-5(c)所示为单间隙双介质阻挡放电反应器的结构。
应用低压等离子机航天等离子技术清洗皮套电连接器；航空航天制造业属于高技术领域，高附着力树脂的特点对许多产品的性能和质量都有很高的要求。航空航天制造业的皮口和电连接器就是其中的两种，需要通过低压等离子机进行表面处理，以提高产品的性能，满足用户的需求。我们来看看航天等离子体技术的这方面。
高附着力树脂的特点
化学反应室中的气体电离是指离子、电子、自由基等活性物质的等离子体，通过扩散吸收于表象介质中，并与表象介质中的原子反应，形成挥发性物质。而且，高能离子在一定压力下物理轰击和蚀刻介质的外观，去除再沉积的化学反应产物和聚合物。介质层的刻蚀是通过化学和物理相互作用完成的。刻蚀是晶圆制造的重要环节，也是微电子IC制造工艺和微纳制造工艺中的重要环节。
等离子清洗设备的清洗原理等离子体是物质存在的状态。通常，物质以三种状态存在：固体、液体和气体，但在特殊情况下，还有第四种状态，例如地球大气中的电离。层材料。以下物质以等离子体状态存在：快速移动的电子、活化的中性原子、分子、自由基（自由基）、电离原子、分子、未反应的分子、原子等，但电性物质总体保持中性。
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但是，目前对引线框架或芯片进行清洗时，是将多个框架或芯片等待清洗工件间隔放置在料盒中，然后连同料盒一起放入清洗机中清洗。现有的料盒结构多为两侧设置侧板的四面镂空的结构，待清洗工件从上到下间隔放置，在清洗过程中，由于料盒侧壁的阻挡或者当相邻工件当中的间距较小时，会造成清洗不（充）分，无法实现框架表面所有区域都被清洗到。
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