表 3-2 给出了等离子发生器能量密度对 H2 气氛中 C2H6 脱氢反应的影响。随着等离子注入量的增加,怎么增加乳胶漆的附着力C2H6 的转化率急剧增加。这是因为随着等离子体能量密度的增加,等离子体中的电子能量和电子密度增加,导致高能电子与H2发生非弹性碰撞。增加活性物质产生的可能性,增加 C2H6 的转化率,增加其他产品所需的各种 CHX 和 C2HX 自由基的浓度,增加 C2H4 和 C2H2 的产生。
.相反,怎么增加乳胶漆的附着力CO2 转化率随着 CeO2 负载的增加而降低。随着 CeO2 负载量从 0 增加到 10%,C2H4 和 C2H2 的总收率从 12.7% 增加到 21.8%。因此,有必要研究10% CeO2/Y-Al2O3与等离子体联合作用下乙烷的转化反应。
击穿电离产生自由电子主要有两种过程:一种是多光子电离,增加乳胶垫的附着力主要是因为多光子电离效应使空气中自由电子的密度略有增加,这些自由电子可以作为种子电子,为后续大量产生自由电子奠定基础。第二个过程是当自由电子的密度增加到一定程度时,随后的脉冲能量被吸收效应强烈吸收,使自由电子的密度大大增加,这是雪崩电离阶段。在这个过程中,空气中有高密度的自由电子,大部分的脉冲能量被吸收和沉积,传输量很小。
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(2)将等离子体清洗蒸气送入真空箱,使压差保持在100帕,氧气、氢气、氮气、氩气等蒸气可以根据各种清洗材料进行清洗。(3)电极和接地装置在真空室内施加高频电压,使蒸气分解,辉光放电产生电离和等离子体。真空室产生的等离子体被完全覆盖,在工件加工过程中开始清洗操作。通常清洗过程持续几十秒到几分钟。清洗后,当蒸气吹入真空室时,切断高频电压将蒸气和蒸发的污物排出。
等离子体中除气体分子、离子和电子外,它们是由等离子体发射的,如能量激发的电中性原子或原子团(也称为自由基),以及波长和能级。光。它在等离子体与物质表面的相互作用中起重要作用。原子团等自由基与物体表面的反应:这些自由基在等离子体中发挥着重要作用,因为它们电重,寿命长,并且离子比离子更丰富。自由基主要出现在化学反应过程中能量转移的“激活”中。
随着高性能结构材料技术和先进材料加工技术的快速发展,人们对材料的韧性或刚性、环保性、循环利 用性和使用寿命等提出了更高的要求.因此通过对材料表面处理改变材料表面的形态、化学成分、组织结构等以提高材料各方面性能在近年来得到了迅速发展.在物理处理、化学处理和机械处理等众多表面处理方法中,等离子体表面处理技术因其清洁高效、能耗低、无废弃物等优点而快速发展。
等离子体的”活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
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