此类污染物通常会在晶圆表面形成有机膜,青海等离子处理机说明书以阻止清洗液到达晶圆表面,导致晶圆表面清洗不彻底,从而使晶圆表面清洁后晶圆中的金属杂质等污染物保持完好。此类污染物的去除通常在清洁过程的第一步中进行,主要使用硫酸和过氧化氢。 1.3 金属:半导体技术中常见的金属杂质包括铁、铜、铝、铬、钨、钛、钠、钾和锂。这些杂质的来源主要包括半导体晶圆加工过程中的各种容器、管道、化学试剂和各种金属污染物。

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