等离子体有别于固体、液体、气体三态物质, 是宇宙中最广泛存在的物质状态, 称为物质的第四态。 等离子体含有各类活性粒子, 如离子、电子、自由基、激发分子、紫外光等。
这些高能电子与甲烷分子发生非弹性碰撞，电子产品喷漆附着力标准进而生成大量的活性物种及活性自由基，自由基再进一步碰撞结合生成 新的物质。
在进行等离子刻蚀操作时，电子产品喷漆附着力标准其射频电源所产生的热运动会使质量小、运动速度快的带负电自由电子很快抵达阴极，而正离子则是由于质量大、速度慢而很难在同一时刻到达阴极，然后就会在阴极附近构成带负电的鞘层，正离子在这个鞘层的加快之下，就会笔直的轰击在硅片的表面，然后使得表面的化学反应加快，而且会使得反应生成物脱离，因而其刻蚀速度极快，离子的轰击也会使各向异性刻蚀得以实现。
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离子在宇宙的其他地方很丰富，但仅限于地球上的某些环境中。自然产生的离子包括闪电和极光。正如将固体变成气体需要能量一样，产生离子也需要能量。随着温度的升高，物质从固态变为液态，液态变为气态。当气体温度升高时，气体分子被分离成原子。随着温度继续升高，原子核周围的电子与原子分离，形成离子（正电荷）和电子（负电荷）。这种现象称为“电离”。通过电离而带有离子的气体称为“等离子体”。
（1）化学反应化学反应中常用的气体有氢气(H2)、氧气(02)、甲烷(CF4)等，这些气体在等离子体中反应成高活性自由基，方程是这些自由基会进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面反应。压力较高时，有利于自由基的产生。因此，如果化学反应是主要反应，就需要控制较高的压力来反应。
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