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由于真空气体通常是高洁净气体，有些真空空气通道没有安装过滤器。工艺气体通常是高洁净气体，过滤器通常是可选部件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、带报警输出的报警器、真空电磁阀和质量控制器。工艺气通常配置两个通道，根据需要也可配置多个通道。3.真空等离子清洗机空气控制元件及进气顺序为：过滤器→调压阀、带报警输出的压力表→真空电磁阀→质量控制器。

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由于等离子体辉光放电是由真空紫外光产生的，四川小型等离子清洗机厂家电话对刻蚀速率有正向影响，气体中含有中性粒子、离子和电子。中性粒子具有与温度和电子能量相对应的较高温度，称为非平衡等离子体和冷等离子体。它们主要表现为电中性（准中性）气体的高自由基和离子活性，能量足以破坏所有化学键，在物质表面会表现出化学反应。通常等离子体中粒子的能量是几十电子伏特。

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