等离子体刻蚀各向异性（等离子体增强化学气相沉积原理）

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聚合物具有分子设计性，等离子体刻蚀各向异性通过等离子体表面相互作用可以在表面引入不同基团来改善其性能，如亲水性、疏水性、润湿性、粘附性;引入生物活性分子或酶来改善其生物相容性。等离子体设备清洗技术对高分子材料进行表面改性，不仅提高了高分子材料在特定环境中的适用性能，而且拓宽了常规高分子材料的适用范围。

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等离子体增强化学气相沉积原理

这些官能团通过电晕等离子体处理可在纤维和聚合物表面产生羟基(-OH)、醛基(-CHO)和羧基(-COOH)，这些官能团对织物的吸湿性有良好的接枝作用。等离子体具有独特的物理化学性质和温度范围特点。从而成为材料表面处理的有效工具。低温等离子体处理可以提高亚麻织物的染色效率、染色率和出色率。等离子体处理的效果反映了大麻纤维的表面腐蚀和氧化。对于色牢度低的纤维制品，可采用低温等离子体染色。通常可以得到满意的着色。

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加入蚀刻过程可以快速生成聚合物提供壁保护气体如CHF3、N2或CH4，使金属铝壁上的氟、氮或碳氢化合物相对优先吸附，进一步减少氯原子与铝壁的反应接触，保护壁，使氯气对金属基铝的各向异性腐蚀能力更好。用等离子工业清洗机研究了三种不同气体对铝蚀刻后侧壁形态的影响。结果表明:腐蚀过程中N2保护气体产生过多的侧壁保护，容易形成梯形侧壁形貌;CHF3的侧壁保护并不完美。

氩气本身是惰性气体，等离子体氩气不会与表面发生反应，最常用的工艺是氩气等离子体通过物理溅射使表面清洁。等离子体物理清洗不会产生氧化副作用，保持清洗材料的化学纯度，腐蚀各向异性，缺点是对表面产生很大的损伤和热效应，选择性差，速度慢。化学清洗和物理清洗各有优缺点。在反应性离子腐蚀中，物理反应和化学反应这两种机制的结合同时起着重要的作用，相互促进，且效果具有更好的选择性、清洁率、均匀性和更好的方向性。

等离子体增强化学气相沉积原理

通过这种方式,应用于等离子体表面处理后的表面材料,材料的原始表面化学键可以毁灭,以创建一个新的反应氛围,从而形成交联网络的结构与这些债券在等离子体,并极大地刺激(激活)表面特异性。第二，等离子体刻蚀各向异性等离子体表面处理可以形成新的功能群在等离子体表面处理中，混合气体的反应会在放电混合物中建立，使被活化的原料表面会发生复杂的化学反应。

等离子清洗原理什么是等离子?等离子体是一种存在状态的物质，等离子体刻蚀各向异性通常物质以固体、液体、气体三种状态存在，但在某些特殊情况下可以以第四种状态存在，如太阳表面的物质和地球大气中的电离层。这种物质的状态被称为等离子体状态，也被称为物质的第四态。等离子体主要由气体放电产生，含有电子、离子、自由基、紫外线等高能物质，具有活化物质表面的作用。