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随着绿色部工业发展规划的出台，等离子配多大空压机工业绿色发展的整体水平将会显著提高(2)，而工业清洗可能需要更多的自动化清洗系统的应用，如何使实施(全)表面清洗系统自动化已经成为必然趋势，也将是工业清洗行业公司的研究方向。工业清洗设备的规模占整个工业清洗行业的40%左右，在工业、商业和民用细分市场中设备市场份额的比重很大。从工业清洗市场规模来看，2012年中国工业清洗设备市场规模约200亿元，并呈现高增长趋势。。
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下游等离子体是一种较弱的工艺，适用于去除10至50埃厚的薄层。在辐射区域或等离子体中，存在对工件的损伤。目前，还没有证据表明这种担忧。这似乎只可能发生在重复的高辐射区域和延长60-120分钟的处理时间。通常，这种情况只发生在大薄片，而不会发生在短期清洗中。。
此外，还研究了射频等离子体[12]和微波等离子体[13]处理危险废物，本文暂不介绍作者简...
