具有启动快、寿命长、比输出高等优点。特别适用于移动电源和各种便携式电源。电动汽车和其他交通工具的理想电源。因此，FCB等离子体除胶设备发展可再生燃料电池和质子交换膜燃料电池对新能源技术的发展具有重要意义。传统的 PEMFC 电堆主要由膜电极和双电极组成。双极板电池的核心部件之一，具有以下功能，例如极板：（1）氧化剂和还原剂的分离；（2）收集冷却电池系统所涉及的电流；（3）反应气体提供流动路径和水； (4) 支持膜电极。
(9) 1990年代后期，FCB等离子体表面清洗连续卷对卷系统（roll-to-roll或reel-to-reel，简称RTR）出现在日本、欧洲和美国。 (10) 2002年，日本矿业材料株式会社开发出机械强度高的压延铜合金箔（NK120）。 (11) 21世纪初，出现了聚醚醚酮(PEEK)等热塑性塑料等新型FCCL基材。
活性氧迅速将聚酰亚胺薄膜氧化成挥发性气体，FCB等离子体除胶设备通过机械泵抽出，去除硅片上的聚酰亚胺。 3）等离子脱胶装置具有以下主要指标和功能： 1.加工效率高，腔体容量和结构可根据要求定制，一次可装载多片6英寸晶圆，加工8英寸晶圆2.工业级电脑控制，Windows操作系统，图形化操作界面，操作简单3. 2.45GHz，600W配置，脱胶效率和质量优于典型的13.56MHz，300W系统四。系统可配备多通道MFC五。
2.包装工艺流程晶圆减薄→晶圆切割→芯片键合→等离子清洗→引线键合→等离子清洗→成型包装→器件焊球→回流焊→表面标记→每个→所有检查后→检查桶包装。二、FC-CBGA封装工艺 1、陶瓷基板FC-CBGA基板是多层陶瓷基板，FCB等离子体表面清洗制造难度极大。板子的布线密度高，距离短，通孔多，板子的共面度要高。主要工艺是先将多层陶瓷片在高温下共烧到多层陶瓷金属化基板上，然后在基板上形成多层金属布线，然后进行电镀。
