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3、FCBplasma除胶机(FCBplasma刻蚀设备) 在等离子清洁器清洁过程中,FCBplasma除胶机腔室中的大部分 FFC 没有分解成活性 F 原子。除非采用减排技术,否则这种未反应的含氟气体将流入大气。由于它们长期存在于大气中,这些气体显着增加了全球变暖,并产生比二氧化碳高四个数量级的热量。因此,自 1994 年以来,环保组织一直在开发减少排放的...