化学反应室的气体电离是指离子、电子、自由基等活性物质的等离子体，ICplasma清洁机器在介质外表通过扩散吸收，与介质外表的原子发生化学反应，形成挥发性物质。此外，高能离子在一定的压力下对介质表面进行物理轰击和刻蚀，去除再沉积的化学反应产物和聚合物。电介质层的蚀刻是通过化学和物理作用完成的。蚀刻是晶圆制造过程中的重要环节，也是微电子IC制造过程和微纳米制造过程中的重要环节。
在倒装IC芯片中，ICplasma清洁对IC和IC载体的处理不仅可以得到干净的点焊接触面，而且大大提高了点焊接触面的化学活化，有效地避免了虚拟焊接，有效地减少了空隙，提高了点焊质量。它也可以增加填充物的外缘的高度和兼容性问题,增加集成电路芯片封装的机械强度,减少内部产生剪切力之间的表面由于热膨胀系数不同的材料,并提高产品的安全性和生活。。
在线等离子清洗技术为人们提供了一种环保有效的解决方案，ICplasma清洁已成为高自动化包装技术过程中不可或缺的关键设备和工艺。在线等离子体清洗machineIC包装形式不同,不断发展和变化,但其生产过程大致可以分为切片,芯片放置架,内部引线焊接,密封养护和其他阶段,只有包装符合要求可以投入实际应用,成为最终产品。
等离子体发生器生产用气体典型颜色有:CF4:蓝色SF6:浅蓝色SIF4:浅蓝色SICL4:浅绿色H2:浅绿色H2:粉红色O2:浅黄色N2:红色He:红色紫色ecole Ne:砖红色Ar:暗红色等离子体发生器生产鲜艳的颜色不仅可以用来鉴别加工气体，ICplasma清洁机器还可以定性地评价加工气体是否有污染物。。
