4.清洗完毕，离型膜电晕处理法切断电源，通过真空泵抽走气体和气化的污物，清洗结束。真空等离子清洗机有很多优点：如数控技术自动化程度高；具有高精度控制装置，时间控制精度高；正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量能得到保证；清洗工作在真空环境下进行，清洗过程环保（安全），不会对环境造成污染，有效保证清洗面不会二次污染。。
根据外加电场频率的不同，离型膜电晕处理法气体放电可分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。直流(DC)放电由于其简单性至今仍被使用，尤其是对于工业大气等离子体清洗装置，可以发挥很大的功率。低频放电的范围一般为1~kHz，现在器件最常用的频率为40kHz。目前在实验装置和工艺设备中使用最多的是高频放电装置，其频率范围为10～MHz。
等离子体清洗/蚀刻技术是等离子体特殊性质的具体应用；等离子体清洗/蚀刻机的装置是将两个电极布置在密封的容器中形成电场，离型膜电晕机pet原膜除尘装置用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离以及分子或离子的自由运动距离越来越长，在电场的作用下，碰撞形成等离子体，这些离子具有很高的活性，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。
即使在氧气或氮气等非活性气氛中，离型膜电晕机pet原膜除尘装置等离子体处理在低温下仍能产生高活性基团。在这一过程中，等离子体还会发射高能紫外线，与产生的快离子和电子一起，提供打破聚合物键合键所需的能量，产生表面化学反应。只有材料表面的几个原子层参与这一化学过程，聚合物的本体性质才能保持不变。选择合适的反应气体和工艺参数...
