AAU射频板需要将更多的组件集成到更小的尺寸中。在这种情况下，RUBC和亲水性聚氨酯需要更多的PCB技术层来满足隔离要求。此外，AAU rf电路板的尺寸也会比4G大。随着5G基站发射功率的提高和更高的工作频带，5G RF线路板也对材料的高速性能和高频性能提出了更高的要求。因此，综合来看，层数增加，粒度增大，材料要求提高。与4GRRUPCB相比，5GAAUPCB板的值有了很大的提高。国内天线射频侧PCB市场预计达到4703亿元。
磁隧道结蚀刻形状的控制除了通过气体选择来优化外，RUBC和亲水性聚氨酯脉冲功率技术的引入也带来了进一步的改善。 除IBE和ICP两种各有利弊的方案外，等离子清洗机中性束蚀刻(NBE，Neutral Beam Etch)也是重要的候选技术之一。NBE方案中，首先通过低温(-30℃)O2NBE在过渡金属元素(Ru，Pt等)表面形成金属氧化层，再利用EtOH/Ar/O2NBE以化学反应的方式去除该氧化层。
这里以普林斯顿等离子体物理实验室（StructureofaGlowDischarge）的模型作为参考。如右图，RUBC和亲水性聚氨酯X轴表示电流值，Y轴表示电压值。产生等离子体，其状态和特性随着电压和电流的增加而变化。图中的垂直线将等离子曲线分为三段。从左到右分别是电晕等离子体、辉光等离子体和电弧等离子体。 corona1.1 电晕等离子体，...
