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这些离子通过电击渗透到印刷品的表层,对opp附着力好的聚氨酯破坏其分子结构,并在极化处理后氧化表层分子。电晕等离子处理器对塑料制品表面的化学和物理作用是复杂的,它们的作用主要受三个方面控制: 1.特定电极系统2.导辊上的材料3.比电极功率。由于不同的化学结构具有不同的原子键,因此电晕处理对塑料制品的影响也因化学结构而异。不同的塑料制品需要不同强度的电晕处理。实践表明,BOPPOPP薄膜的结构状态也发生了变化。

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表3.9不同蚀刻机台下侧墙形貌宽度差WaferCD Bottom-CD Middle/nmICP EtcherCCP Etcher10.9220.52.530.31.7412.4512.260.60.3Average0.71.6 在等离子清洗设备侧墙蚀刻工艺中,除均匀性外,kopp附着力顶部高度损失(Top Loss)也是侧墙蚀刻的重要参数。较少的顶部高度损失,会影响多晶硅栅金属化的厚度,增加金属栅的电阻值。

等离子表面处理技术可应用于材料科学、高分子科学、生物医学材料、微流体研究、微机电系统研究、光学、显微镜和牙科等领域。

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