在DD蚀刻中，上坡附着力沟槽蚀刻工艺和沟槽蚀刻前通孔内有机栓塞的高度决定了通孔形貌，而通孔形貌应与金属势垒沉积工艺的均匀性相兼容，从而使金属阻挡层均匀覆盖在整个晶圆的斜面上。在工艺开发的后期，当凹槽蚀刻工艺固定时，只能改变调整栓塞高度的步骤。使用统一的固体在实验设计中，通过少量实验找到了合适的工艺流程。虽然蚀刻速率的均匀性降低了，但它与屏障沉积过程相结合，以消除上坡EM的早期失效。。
活性:显著提高润湿性，上坡附着力会大吗形成活性表面;2、清洁:去除污垢和油污，精细清洁和静电;3、涂布:通过表面涂布处理，提供功能性表面，提高表面附着力，提高表面附着力的可靠性和耐久性。4、经过等离子表面处理后，无论是各种聚合物塑料、陶瓷、玻璃、PVC、纸张或金属材料，都能得到更好的表面能量。采用此工艺可以提高产品的表面张力，更符合工业上的涂层和粘接处理的要求。。
。电晕处理材料的表面达因值提高。电晕处理法是一种电击法，上坡附着力可以提高基材表面的附着力。其原理是利用高频高压电晕放电（高达5000-15000V/M2高频交流电压）对处理过的塑料表面产生低温等离子体，使塑料表面发生自由基反应和交联。 当聚合物结合时，表面会发生变化。粗化并提高等离子体对极性溶剂的润湿性。这些等离子体通过电击渗透到印刷品表面，破坏印刷品的分子结构。
等离子技术在一般工业中的应用1.电子行业等离子设备广泛应用于半导体、生物医药、纳米（米）材料、光电设备、平板显示器、航空航天、科研和一般工业领域。等离子技术在一般工业领域的应用1.电子行业一种。填充：提高注入材料的附着力 填充是注入树脂以保...
