在IC芯片制造领域,镀膜附着力等级划分图等离子体处理技术已经是一项不可替代的成熟技术,无论是在芯片源离子注入,还是晶圆镀膜,或者我们的低温等离子体表面处理设备都可以实现:去除晶圆表面氧化膜、有机物、掩膜去除等超净化处理以及通过表面活化提高晶圆表面润湿性。当IC芯片包含引线框架时,晶片上的电连接连接到引线框架上的焊盘,然后引线框架连接到封装。
等离子清洗机(PLASMA CLEANER)又称等离子刻蚀机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理设备广泛用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶片剥离、等离子镀膜、等离子灰化、等离子活化、等离子表面处理等。同时去除有机污染物、油或油脂。