限于等离子体密度无法提高,3M亲水性辅料单位面积内的活化离子数目以及化学蚀刻反应也受到了带电粒子数目的限制。在低压状况下(1.333mPa以下),由于离子数目过低而造成等离子体无法维持的状况,因此电容耦合式电浆很难用于低压下蚀刻而且也不是很有效率。
形成的线路图形的精度可以达到线宽 / 间距 0.2~0.3 mm,但不适用于更精密的图形。随着微细化这种方法逐步不能适应。与以下所叙述的干膜法相比需要有一定技术的操作人员,操作人员必须经过多年的培养,这是不利的因素。干膜法只要设备、条件齐全就可制得 70~80μm 的线宽图形。现在 0.3mm 以下的精密图形大部分都可以用干膜法形成抗蚀线路图形。
低温等离子体放电处理木材适合3min。。
等离子表面处理机在科学研究各方面已经取得了广泛的运用,3m亲水性手调硅橡胶涉及光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域04-高校实验室等离子表面处理机技术规格参数: 》腔体材料:不锈钢/石英舱体 》工作气路:两路,可以选配MFC控制 》射频频率:40KHz 》射频功率:0-200W/300W可选,可调 》控制系统:按钮+单排LED...