1、先进表面改性技术（先进表面改性技术中心） 湿法蚀刻技术将声波能量均匀分布在基板表面，先进表面改性技术提高分布能量以支持理想的清洁并确保样品损伤阈值在范围内。该系统具有重现性高、均匀性好、Z级先进的兆声波清洗、兆声波辅助光刻胶剥离和湿法刻蚀等特点。产品可按工艺步骤进行无损检测、化学试剂清洗、刷洗、烘干等。两种湿法刻蚀法和干法刻蚀法优缺点比较：...
2、表面改性 湿法工艺（高能束先进制造与表面改性） 超声波等离子体的反应是物理反应，表面改性 湿法工艺高频等离子体的反应是物理反应和化学反应，微波等离子体的反应是化学反应。由于超声波清洗对被清洗表面的影响最大，因此在现实世界的半导体制造应用中经常使用两种清洗方法，即射频和微波。使用超声波清洗时，去除表面的粘合剂和毛刺最有效。一种常见的物理化学清洗方法...
3、等离子表面改性技术是一种非常先进的清洗技术 等离子表面改性技术是一种非常先进的清洗技术，简单来说，它就是等离子体和材料表面进行相互作用的过程，通过等离子体里面的各类活性粒子撞击材料表面，从而大大提高材料表面的性能。第一，等离子表面改性之后，其材料表面会变得更加粗糙，有时候表面行踪也会发生一段的变化，这就是等离子表面改性所起到作用，它让材料表面...
