（2）活泼气体和不活泼气体等离子体，划圈法附着力怎么看根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同，可分为不活泼气体等离子体和活泼气体等离子体两类，不活泼气体如氩气（Ar）、氮气（N2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）等，活泼气体如氧气（O2）、氢气（H2）等，不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的，活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性，这将在后面结合具体应用实例介绍。。
（2）活性气体和非活性气体等离子体，划圈法附着力怎么看根据产生等离子体所用气体的化学性质不同，可分为非活性气体等离子体和活性气体等离子体，非活性气体如氩(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等，活性气体如氧气(O2)、氢气(H2)等，不同类型气体在清洗过程中的反应机理不同，活性气体的等离子体化学反应活性更强，后面将结合具体应用实例介绍。。
（2）活泼气体和不活泼气体等离子体，划圈法附着力怎么看根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同，可分为不活泼气体等离子体和活泼气体等离子体两类，不活泼气体如氩气（Ar）、氮气（N2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）等，活泼气体如氧气（O2）、氢气（H2）等，不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的，活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性，这将在后面结合具体应用实例介绍。
给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。等离子体的活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理装置是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，划圈法附着力评级实例从而达到清洗、改性、光刻胶灰等目的。
划圈法附着力评级实例
