2、气体类型:不同气体放电产生的等离子体的清洗速度和清洗效果是不一样的，附着力与制动效率要根据产品的特点选择不同的气体，才能达到更好的效果。暴露时间:如果在加工前产品暴露在等离子中时间过长，也会影响清洗效率。4、放电压力:一般来说，等离子体密度越高，温度越低，电子温度越低，处理效果越好，所以一定要选择好放电压力。
可以提高整个工艺线的加工效率； 2.等离子清洗让用户避免了对人体有害的溶剂，附着力与制动效率避免了用湿法清洗容易清洗物体的问题； 3.避免使用三氯乙烷ODS等有害溶剂，清洗后有害 这种清洗方式是一种环保的绿色清洗方式，如它不会产生任何污染物。随着世界对环境保护的极大兴趣，这一点变得越来越重要。第四，无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。
2.处理全过程无污染环保设备不产生任何污染，附着力与制动效率处理过程不产生任何污染。3.加工效率高，可实现全自动在线生产只要对样品表面进行短时间处理，2s内即可达到效果。还可与原有生产线配套，实现自动化在线生产，节省人力成本。4.治疗效果稳定等离子体清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理长期效果良好。5.治疗过程中不需要额外协助条款和条件常压等离子清洗机只需220V交流和压缩空气源！不需要附加项目和条件。
3.金属半导体工艺中常见的金属杂质有铁、铜、铝、铬、钨、钛、钠、钾、锂等，附着力与制动效率这些杂质主要来自各种器皿、管材、化学试剂，以及半导体晶圆加工过程中的各种金属污染。这类杂质的去除常采用化学方法进行。由各种试剂和化学药品配制的清洗液与金属离子反应形成金属离子络合物，从晶片表面分离...
