等离子蚀刻机是利用等离子体来解决材料表面的问题，表面喷粉附着力除去样品表面的污染物，还能增强其表面活性。针对不同的污染物，采用不同的清洗工艺，根据产生的等离子体的类型，可分为化学清洗、物理化学清洗和化学清洗。
处理应使用氢气或氢气和氩气的混合物。有时采用两步工艺。用氧气氧化表面5分钟，铜表面喷粉附着力差然后用氢气和氩气去除氧化层。还有可以同时处理多种气体。2.等离子刻蚀在等离子刻蚀过程中，由于加工气体的作用，刻蚀变成汽相（如硅被氟刻蚀）。处理气体和基体材料由真空泵抽出，表面连续覆盖新鲜处理气体。不想被腐蚀的部分用材料覆盖（如半导体工业中使用的铬覆盖材料）。还采用等离子体法腐蚀塑料表面，通过氧的作用使填充混合物在分布分析的同时灰化。
主要的新增特色工艺都是围绕3D结构制备，表面喷粉附着力好还是坏包括①台阶蚀刻；②沟道通孔蚀刻；③切口蚀刻；④接触孔蚀刻。1.等离子表面处理机等离子清洗机台阶蚀刻台阶蚀刻的目的是为了后续工艺单独连接每一层控制栅层。由于控制栅层处于堆叠状态，需要在水平方向上做不同程度的延伸，而后续工艺制备的接触孔结构分别将不同的控制栅层连接出去，接通后段互连电路而进行分别控制。
此外，表面喷粉附着力等离子清洗机及其清洗技术还应用于光学工业、机械和航空航天工业、高分子工业、污染防治工业和...
