还有一种等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用，加热可以提高附着力吗即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促进，离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之更容易产生反应;其效果是既有较好的选择性、清洗率、均匀性，又有较好的方向性。典型的等离子体物理清洗工艺是氩气等离子体清洗。
等离子体在电磁场内空间运动，加热可以提高附着力吗并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有机物，以及其它化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果，经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。。如果对气体持续加热，加热到一定温度，气体中的分子分解为原子并发生电离，就形成了由离子、电子和中性粒子组成的气体，这种状态称为等离子体。等离子体通常被视为物质除固态、液态、气态之外存在的第四种形态。
此外，加热可以提高附着力两种反应机制对表面精细形态的影响也大不相同。物理反应导致表面在分子水平上变得更粗糙，从而改变了表面的粘合性能。还有等离子清洗，物理和化学反应都在表面反应机理中起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗相互促进，离子冲击清洗，它破坏了表面表面，弱化化学键或形成原子状态，易吸附反应物，离子碰撞加热被清洗物，促进反应。效果不仅限于出色的选择性、清洁速度和均匀性。不仅方向好。
另一种等离子体清洗是物理反应和化学反应在表面反应机理中起着重要作用，加热可以提高附着力即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以相互促进。离子轰击对清洗后的表面造成损伤，使其化学键减弱或形成原子状态，容易吸收反应物。离子碰撞加热了清洗后的物质，使其更容易反应；其效果不仅有较好的选择性、清洗率、均匀性，而且有较好的方向性。典型的等离子体物理清洗工艺是氩等离子体清洗。
