控制部分的主要电器部件有：真空泵、RF电源、真空计、计时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯的蜂鸣器、功率调节器、放空按钮(带自锁)、气体一按钮(带自锁)、气体二按钮(带自锁)、高频电源按钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。
在线等离子清洗机等离子清洗在LED封装工艺中的应用：发光二极管 (LED)一般用作指示灯、显示板，附着力控制系统指示灯它不但能够高效率地直接将电能转化为光能，而且拥有长达数万小时至数十万小时的使用寿命，同时具备不易碎省电等优点。。在线等离子清洗机的清洗原理： 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。
本发明涉及真空泵、RF、真空计、定时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯蜂鸣器、电源调节器、排气按钮（带自锁）、气体旋钮（带自锁）、开关岛带自锁（带自锁）、带自锁开关等按钮（带自锁）、真空泵按钮（带自锁）、主电源旋钮开关。按钮式真空吸尘器的结构和操作方式也发现了一些缺点。由于触点之间的布线连接，附着力控制系统指示灯容易击穿，可靠性低，维护困难。所有继电器组件都是独立的组件。
控制单元主要电气部分有真空泵、射频电源、真空计、定时器、...