特征性：能实现各向异性蚀刻，什么单体对尼龙有附着力以保证细节转换后图像的保真性。缺点：成本一般，且用于微流控芯片的制备较少。干式刻蚀系统包括：用于容置电浆用的空腔；空腔上方的石英盘；石英盘上方的多个磁体；旋转机构，它带动多个磁体旋转，其中多个磁体产生与该磁体一起旋转的磁场。通过进一步提高粒子的碰撞频率，可以获得佳的电浆均匀性，提高等离子浓度。。
等离子清洗机中热等离子体装置是利用尖端电极（如刀状或针状尖端和狭缝式电极）激发产生等离子体焰，什么单体对尼龙有附着力也就是大气等离子清洗机或常压等离子清洗机；冷等离子体装置是在密封容器中设置正负电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，气体发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，称为真空等离子清洗机或低压等离子清洗机。
与湿法清洗相比较，什么单体附着力好具有较大的优势：1.清洗对象的广泛性，不受溶剂和材料选取的限制。2.清洗方向的包容性。被清洗元件置于等离子体内，等离子体可以接触到任 意的元件表面，因而可以清洗具有复杂结构的元件。3.清洗产物的无...
