发现将ICP金属蚀刻反应室的高度从8厘米降低到5厘米显着提高了晶片表面的电场强度。等离子体密度的增加会导致电荷充电并对设备造成严重损坏。 (2) 等离子体局部不均匀。在均匀等离子体中，增加树脂附着力的极性单体离子和电子电流在一个 RF 循环中局部平衡，栅极氧化物电位很小，而在异质等离子体中，局部尺度的电位不平衡会导致晶片表面保持平衡。 .栅氧化层损坏。 (3)电子遮光效果。
数据显示，增加树脂附着力的极性单体2019年我国柔性线路板市场需求增至10.8万平方米。此外，我国柔性电路板产量持续增加，2019年增至11506万平方米。近年来，我国柔性电路板市场规模总体保持增长态势，2019年升至1303亿元。目前，我国柔性电路板的消费主要集中在家用电器、汽车电子设备、网络通讯等领域。其中，智能手机、平板电脑等家电产品占据主导地位，占比超过70%。
内部金属电极在等离子表面处理设备的情况下，增加树脂附着力的极性单体金属电极暴露在等离子中，所以一些材料的金属电极被一些等离子蚀刻或溅射，造成很多不必要的环境污染和尺寸变化。金属电极，从而干扰等离子清洗系统的稳定性。金属电极的布局极大地影响了等离子表面处理设备的速度和均匀性。金属电极的更紧密间距将等离子体捕获在更小的区域内...
